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发布时间：2024-10-31 16:01:47
半导体炉管设备是干啥的
半导体炉管设备是半导体生产过程中的关键设备之一，主要用于半导体材料的热处理工艺，如扩散、驱动入、氧化、沉积、退火和烧结等制程。
炉管设备分为水平式和垂直式两种。水平式炉管，晶圆放置在石英晶舟上，且石英晶舟又放在SiC做的承载架上，且前后会有适应挡板。承载架推进石英炉管中，晶圆在恒温区进行反应。结束后晶圆也会缓慢拉出，避免馆内外温度差造成晶圆弯曲或破裂。垂直式炉管，晶圆在石英塔架上，然后缓慢上升到石英炉管内进行制程，反应晚也需要缓慢降下，防止弯曲或破裂。
炉管设备的工作原理是利用电阻式加热线圈环绕石英管，通过控制电流大小来调节加热温度。石棉隔热，最外层为不锈钢。管内有三个热电偶，分别测量前、中，后三个区域的温度。气体输送装置包括手动阀、微粒过滤器、压力调节器、气动阀、流量控制器等组成。
半导体炉管设备是半导体生产过程中不可或缺的一部分，其主要作用是通过高温热处理在晶圆表面形成绝缘膜或导入掺杂，从而控制晶体管的性能。设备的精确控制和稳定性对半导体产品的质量和性能有着重要影响。
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